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更新時(shí)間：2024-06-21簡(jiǎn)要描述：采用ACM 600 共焦顯微鏡可對(duì)物體的表面和結(jié)構(gòu)進(jìn)行非接觸式的測(cè)量，評(píng)估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測(cè)量視場(chǎng)大小和精度也不同。視場(chǎng)的擴(kuò)展可通過(guò)釘合的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)
采用ACM 600 共焦顯微鏡可對(duì)物體的表面和結(jié)構(gòu)進(jìn)行非接觸式的測(cè)量，評(píng)估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測(cè)量視場(chǎng)大小和精度也不同。視場(chǎng)的擴(kuò)展可通過(guò)釘合的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)。
ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤(pán)，使采集的單個(gè)測(cè)量點(diǎn)相互平行。ACM 600目前是*商業(yè)化的采用微透鏡掃描盤(pán)的儀器。與尼普科夫掃描盤(pán)相比，微透鏡掃描盤(pán)使光學(xué)系統(tǒng)反應(yīng)快速，所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測(cè)量結(jié)果。它的另外的*之處在于采用了LED作為光源，避免了使測(cè)量頭發(fā)熱，因而它的壽命幾乎可以視為無(wú)限長(zhǎng)。儀器配備了物鏡切換盤(pán)，可以快速轉(zhuǎn)換物鏡。
檢測(cè)物件的設(shè)定和測(cè)量全過(guò)程可以通過(guò)一個(gè)獨(dú)立的監(jiān)視器觀察。測(cè)量軟件基于Windows XP操作系統(tǒng)編制，并提供所有標(biāo)準(zhǔn)的評(píng)估程序。
儀器結(jié)構(gòu)緊湊，耐用，特別適用于工業(yè)用途。在微透鏡掃描盤(pán)自動(dòng)伸出后，儀器可作為普通的顯微物鏡使用。
| 共焦顯微鏡頭 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格配置50x/0.8物鏡 帶有微透鏡掃描盤(pán)的掃描共焦傳感器 | |
| 光源 | LED |
| 壽命 h | > 50,000 |
| 采用步進(jìn)電機(jī)時(shí)的測(cè)量范圍mm | 50 |
| 采用壓電執(zhí)行器件時(shí)的測(cè)量范圍µm | 100/150 |
| zui高垂直分辨率 nm | 5 |
| zui高橫向分辨率µm | 1 |
| 工作距離mm | 0.66 |
| 視場(chǎng)µm | 370 x 280 |
| 256個(gè)高度臺(tái)階的測(cè)量時(shí)間s | 約 30 |
| 重量kg | 約12 |
| 測(cè)量工作臺(tái) | |
| X、Y、Z每軸位移mm | 50 |
| zui小步距µm | 1 |
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